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平板顯示器用靶材相關(guān)參數(shù)

更新時(shí)間:2015-12-16 13:38:23    來源:互聯(lián)網(wǎng)

平板顯示器用靶材
Targets For Flat Panel Display

材料(符號(hào))

   

形   狀

最大尺寸

氧化鋅鋁(AZO)

3N5

平面靶

300x110mm

氧化鈮(Nb2O5)

3N5

平面靶

300x110mm

二氧化硅(SiO2)

4N

平面靶

1000x300mm

多晶硅(Si)

5N

平面靶

150x150mm

(Nb)

3N

平面靶

1000x300mm

(Ti)

2N5/4N5

平面靶

1500x300mm

(Mo)

3N5

平面靶

800x300mm

(Ta)

3N5

平面靶

1000x300mm

(Cr)

2N5/3N5

平面靶

600x200mm

&鎳合金靶

3N

平面靶

1500x300mm

&鋁合金靶

4N/5N

平面靶

1500x300mm

 

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